亿波达首款高稳压力芯片PSPR-01M6-HS研发成功
近日，苏州亿波达微系统技术有限公司（以下简称“亿波达”）首款高稳压力芯片PSPR-01M6-HS研发成功。该产品依托先进的MEMS工艺单片集成压力传感器与温度传感器，长期稳定性优于0.05%FS/年，具有高稳定性、高精度、单边引线、低功耗、抗干扰能力强等特点，同款系列产品涵盖40kPa～40MPa压力量程，可用于绝压/差压/表压测量，在工业控制、汽车电子、医疗设备等领域具有广泛的应用前景。
高稳压力芯片PSPR-01M6-HS
产品特点
- 高稳定性：采用独特的结构设计和生产工艺，在长期工作的情况下都能保持精确的压力测量和出色的稳定性。
- 高精度：采用先进的MEMS设计及工艺技术，具有极高的测量精度。
- 单边引线：芯片PAD放置在同一侧，方便快速进行引线工艺，使得其在生产效率、可靠性、电气性能和集成便利性等方面具有显著优势。
- 低功耗：采用低功耗设计，有效延长了设备的续航时间。即使在持续高压状态下工作，也能保持较低的功耗，延长了产品的使用寿命。
- 抗干扰能力强：具备强大的抗干扰能力，能够有效抵抗外部电磁干扰的影响，确保芯片在复杂环境下的稳定工作。
性能参数
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量程 |
40kPa~40MPa |
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压力形式 |
A/D/G |
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满量程输出（mV@5V） |
60 ~ 140 |
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年稳定性（%FS） |
0.05 |
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满量程温度系数（%FS/K） |
-0.29 ~ -0.25 |
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零偏温度系数（%FS/K） |
-0.09 ~ -0.05 |
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零偏（mV） |
±25 |
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压力非线性（%FS） |
<0.15 |
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温度迟滞（%FS） |
<0.1 |
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压力迟滞（%FS） |
<0.03 |
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尺寸（mm） |
2.1×2.1 |
亿波达还将陆续推出多款小尺寸及高温用途压力芯片，以及氢气、惯性、压力、微流、光电和光通讯MEMS传感器，满足不同领域客户的多样化需求。
PSPR-01M6-HS应用场景
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