MEMS微镜是一种以MEMS加工工艺而制备的微光学器件或系统，具有体积小、功耗低、响应速度快以及寿命长等优异性能，在光通信、投影显示和激光雷达等领域具有巨大应用前景。 通过控制电信号的输入，可精确控制MEMS微镜的偏转角度。光学偏转角度小的MEMS微镜可用作光衰减器（VOA），光学偏转角度大的MEMS微镜主要用于图形化扫描。
