FS-001-MEMS流量计芯片-苏州亿波达微系统技术有限公司

MEMS流量计芯片

FS-001

FS-001流量计芯片是基于热式效应的MEMS芯片。产品上各有两个加热电阻和环境温度电阻，供自由搭配使用。产品可工作在恒功率、恒电压或恒温差模式，可用于汽车、工业等领域。

性能参数优势特点应用领域

性能参数

型号	加热电阻阻值	环境电阻阻值	环境温度	加热电阻最大温度	电阻温度系数	响应时间
FS-001	45±5Ω	1700±400Ω	-40~125℃	环境温度＋100℃	6000±500ppm	10ms

优势特点

优异的长期稳定性
ms级快速响应
小型化、 MEMS 技术

应用领域

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产品: MEMS惯性传感器; MEMS惯性传感器模组; MEMS传感器系统集成; MEMS压力芯片; MEMS流量计芯片

应用: 航空航天; 车路云; 无人机; 机器人; 智能驾驶; 智慧农业

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